X射线光电子能谱针对无机和有机材料表面（1~10nm厚）元素价态和组分，进行高灵敏度半定量检测。可实现定性与定量分析材料表面元素组成及化学态、元素深度分析、元素分布分析。
技术参数：
1.X射线源：单色化Al Kα
2.能量扫描范围：0～5000 eV
3.真空度：优于7.0×10-9 mbar
4.可以进行常规XPS、高能XPS、UPS及AES分析
5.配备同轴反射电子能量损失谱（REELS），满足对氢元素的定性定量分析
6.配备电荷中和测试系统，可满足磁性样品等测试
7.配备原位气氛处理制样系统，可满足气氛敏感样品测试
